Modulbeschreibung

Die Studierenden

• kennen die wesentlichen Verfahren der planaren Oberflächen-Strukturierung durch Lithografie und Ätzen.
• kennen die einzelnen Prozessschritte der Fotolithografie, sowie die unterschiedlichen Belichtungsverfahren und Belichtungsapparaturen.
• kennen die Grundregeln des Maskendesigns und können selbstständig regelkonforme Masken zeichnen.
• verstehen die wichtigsten chemischen Vorgänge in der Ätztechnik und können die unterschiedlichen Ätztechniken mit ihrer Anwendbarkeit und Vor- und Nachteilen einsetzen.
• kennen die grundlegenden Gerätetypen und physikalischen Vorgänge der Trockenätztechnik.
• können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich Mikrostrukturierung selbstständig bearbeiten, die Prozesse im Reinraum unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.
• kennen das Konzept diskreter Energieniveaus in Atomen und das Bändermodell in Festkörpern. 
• verstehen die prinzipielle Funktionsweise von Halbleitern, insbesondere die Leitungsmechanismen.
• kennen die verschiedenen Absorptions- und Emissionsprozesse in atomaren Systemen und in Halbleitern und können diese qualitativ beschreiben.
• kennen wichtige Arten von Schichten, deren Eigenschaften und können diese beschreiben.
• wissen, mit welchen Verfahren und mit Hilfe welcher Anlagen diese Schichten hergestellt werden.
• können für spezifische Anwendungen geeignete Schichten und Abscheideverfahren sowie die zugehörige Anlagentechnik auswählen.
• können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich der Beschichtungstechnik selbstständig bearbeiten, die Prozesse im Reinraum sowie Messungen unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.
• kennen die wichtigsten Materialien und biologischen Moleküle, sowie die grundlegenden Analyse- und Messverfahren in den Life Science. 
• kennen Lab-on-Chip Konzepte mit Mikrofluidik-Komponenten, biochemische Sensoren und Beispiele von Systemen in Medizintechnik und Diagnostik. 
• verstehen anhand ausgewählter Beispiele, wie Analyse- und Messsysteme mikrotechnisch umgesetzt und in den Life Science angewendet werden. 
• verstehen anhand ausgewählter Beispiele, wie optische/photonische, elektrochemische Messsysteme und Sensoren in den Lifescience und der Medizinaltechnik eingesetzt werden. 
• kennen geeignete Techniken, um Halbleiter zu dotieren.
• wissen, welche Dotierstoffkonzentrationsprofile sich im Substrat realisieren lassen.
• wissen, wie sich Oberflächen und dünne Schichten charakterisieren lassen.
• kennen die Vor- und Nachteile unterschiedlicher oberflächenanalytischer Verfahren.
• können die Ergebnisse der besprochenen analytischen Verfahren richtig interpretieren und daraus geeignete Schlussfolgerungen für die untersuchten Substrate ziehen.