Modulbeschreibung
Prozesstechnolgie für Silicon Photonics
ECTS-Punkte:
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
- Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
- Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
- Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften
Methodenkompetenzen:
- Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik
Sozialkompetenzen:
- Eigenverantwortung, Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
- Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen
Kurse in diesem Modul
Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics):
Projekt im Bereich Prozessentwicklung für das optimierte Ätzen von Wellenleitern in Silizium (Silicon Photonics)
Aufgabe: Übernahme einer Aufgabe als Teilprojektleiter. Entwicklung und Optimierung von Ätzprozessen zur Herstellung von Siliziumwellenleitern mit optimierter Seitenwandrauheit, sowie wissenschaftlicher Beitrag.
Lieferobjekte: Projekt, Bericht, Schlusspräsentation, Webseite (Projektvorstellung)
Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtech:
- Vertiefung im Bereich Konzeption und Auslegung von faserangepassten Siliziumwellenleitern
- Erlernen der Simulationssoftware zur Auslegung von Wellenleiterstrukturen
- Charakterisierungsverfahren zur Analyse von Wellenleitereigenschaften
Die Studierenden erarbeiten teils selbständig, teils unter Anleitung die Theorie aus Fachliteratur, Büchern und Manuals, und erstellen daraus die notwendigen Designrules. Sie evaluieren verschiedene Charakterisierungs-Verfahren für Wellenleitergrundstrukturen
Disclaimer
Diese Beschreibung ist rechtlich nicht verbindlich! Weitere Informationen finden Sie in der detaillierten Modulbeschreibung.