Modulbeschreibung

Mikrotechnik III

ECTS-Punkte:
10
Lernziele:

Die Studierenden

  • kennen die physikalischen Zusammenhänge von Prozessabläufen.
  • kennen Technologien, Prozesse und Herstellverfahren sowie deren Anwendungsgebiete in Entwicklung und Produktion
  • kennen die gründsätzlichen physikalischen Prizipien von Mikrosensoren
  • Kennen den Aufbau grundlegender optischer Messysteme und von Mikroskopen

Kurse in diesem Modul

Technische Optik II:
Telezentrische Systeme
• Fernrohr
• Autokollimator

Mikroskop
• Aufbau und Wirkungsweise
• Auflösungsvermögen, förderliche Vergrösserung, Schärfentiefe
• Dunkelfeld / Hellfeld / Auflicht / Durchlicht
• Interferenzkontrast

Optische Oberflächenmessverfahren
• Konfokale Mikroskopie
• Weisslicht Interferometrie
• Interferometrie
• Digitale Holografie
• Speckle Interferometrie
• Chromatische Messverfahren
Klassenunterricht mit 2 Lektionen pro Woche
Beschichtungstechnologie:
  • Plasma
    - Grundlagen der Plasmaphysik
    - Aufbau wichtiger Plasmaquellen
  • Phyikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
    - Thermisches Verdampfen
    - Sputtern
  • Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
    - CVD-Reaktoren
    - CVD-Prozesse
    - Modell der Abscheidungsrate

 

     
Klassenunterricht mit 2 Lektionen pro Woche
Oberflächen und 3D-Strukturierung:
  • Chemische Grundlagen des Ätzens
  • Nassätzen: Isotropes und anisotropes Ätzen von Silizium
  • Geometrische Kontrolle im Silizium
  • Trockenätzen und die verschiedenen Prozessanlagen
  • Plasmaätzen (Barrelätzen, Plattenreaktor)
  • Sputterätzen (Reaktives Ionenätzen, Ionenstrahlätzen)
  • Deep Reactive Ion Etching (DRIE)
  • Opferschichtverfahren (sacrificial layers)
  • Photostrukturierbare Gläser
  • Galvanik für den LIGA-Prozess
Klassenunterricht mit 2 Lektionen pro Woche
Funktionselemente der Mikrotechnologie:

Sensorik

  • Kapazitive Sensoren
  • Resonante Sensoren
  • Piezoresistive Sensoren
  • Thermische Sensoren
  • Die Phasen einer Konzeption (Entwurf, Berechnung, Simulation, Prozessentwicklung, Herstellung, Messung) anhand eines Exempels


Klassenunterricht mit 4 Lektionen pro Woche
Analytik und Messmethoden:

Dotierverfahren
- Diffusion
- Implantation
Bildgebende Verfahren
- Rasterelektronenmikroskop (SEM)
- Transmissionselektronenmikroskop (TEM)
Spektroskopische Verfahren basierend auf dem Nachweis von Röntgenstrahlung
- Röntgenfluoreszenz (XRF)
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
Spektroskopische Verfahren basierend auf dem Nachweis von Elektronen
- Fotoelektronenspektroskopie durch Röntgenanregung (XPS)
- Augerelektronenspektroskopie (AES)
- Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)
Spektroskopische Verfahren basierend auf dem Nachweis von Ionen und Atomen
- Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS)
- Sekundärneutralteilchenmassenspektroskopie (SNMS)
- Rückstreuionenspektroskopie (RBS)
Klassenunterricht mit 2 Lektionen pro Woche
Reinraumpraktikum:
kompletter Entwurf und Herstellung eines mikrotechnischen Bauteils
Praktikum mit 0 Lektionen pro Woche
Disclaimer

Diese Beschreibung ist rechtlich nicht verbindlich! Weitere Informationen finden Sie in der detaillierten Modulbeschreibung.