Modulbeschreibung

Mikrotechnik IV

ECTS-Punkte:
10
Lernziele:

Die Studierenden

  • verstehen die Funktionsweise von Mikrosystemen im Bereich Optik, Mechatronik und Life Science
  • können Materialien, Herstellprozesse und Technologien abwägen und bewerten.
  • kennen Beispiele von Mikrosystemen im Bereich Optik, Mechatronik und Life Science
  • können einen englischen Fachartikel der MST verstehen

Kurse in diesem Modul

Photonics-Anwendungen:

Optische Dünnschichttechnologie

  • Dünnschichtinterferenz / Fabry-Perot Filter
  • Design von Antireflex- und Spiegelschichten bzw. Filterelementen
  • Kantenfilter, Antireflexbeschichtungen, Hochreflektierende Spiegel
  • Bandpassfilter (DWDM)
  • Vor-/Nachteile physikalischer (PVD) und chemischer (CVD) Abscheideverfahren sowie Atomic Layer Deposition (ALD)
  • Messung von Brechzahl und Dicke dünner optischer Schichten

 

Integrierte Optik / Faseroptik

  • Lichtführung in dielektrischen Lichtwellenleitern
  • Materialien und Verfahren zur Herstellung optischer Glasfasern
  • Singlemode und Multimode Glasfasern
  • Materialsysteme und Herstellprozesse integrierter Wellenleiter
  • Grundfunktionen und Bauelemente der integrierten Optik
Klassenunterricht mit 4 Lektionen pro Woche
Mikrosystem-Anwendungen:
  • Materialauswahl für die Mikrosystemtechnik
  • Spannungen in dünnen Schichten
  • Tensoren: Begriff und Eigenschaften
  • Zustandsbeschreibung von Systemen durch Tensoren und thermodymische Potentiale
  • Aktorprinzipien des Mikrosystemtechnik
  • LMP-Simulation von elektromechanischen Mikrosystemen
  • Standardprozesse der Mikroelektronik
  • Beispiele von Mikrosystemen
Klassenunterricht mit 4 Lektionen pro Woche
Life-Science-Anwendungen:

Werkstoffe und Messmethoden

  • Glas, Kunststoffe, Keramik, Metalle, Mica
  • Biomoleküle, Bioresorption
  • Fluoreszenz, Spektroskopie, Protein-Assays (ELISA), DNA Polymerase-Kettenreaktion (PCR), Atomkratfmikroskopie (AFM), Biosensorik

 

Beschichtungs- und Strukturierungsmethoden

  • hydrophile/hydrophobe Schichten, Oberflächen-Immobilisation, Zelladhäsion, Selfassembly, Bioschichten
  • Chemische und physikalische "Strukturen", Soft-Lithographie, Selbstorganisierende Monoschichten (SAM)

 

Funktionselemente und Systeme

  • Fluidikkomponenten, Mixer, Sorter, Biochemische Sensoren, Beispiele von Systemen in Medizintechnik und Life-Sciences
Klassenunterricht mit 4 Lektionen pro Woche
Disclaimer

Diese Beschreibung ist rechtlich nicht verbindlich! Weitere Informationen finden Sie in der detaillierten Modulbeschreibung.