Modulbeschreibung
Mikrotechnik IV
Kurzzeichen:
Unterrichtssprache:
ECTS-Credits:
Arbeitsaufwand (h):
Leitidee:
Die Studierenden
- verstehen die Funktionsweise von Mikrosystemen im Bereich Optik, Mechatronik und Life Science
- können Materialien, Herstellprozesse und Technologien abwägen und bewerten.
- kennen Beispiele von Mikrosystemen im Bereich Optik, Mechatronik und Life Science
- können einen englischen Fachartikel der MST verstehen
Modulverantwortung:
Lehrpersonen:
Standort (angeboten):
Vorausgesetzte Module:
Modultyp:
Modulbewertung:
Leistungsnachweise und deren Gewichtung
Modulschlussprüfung:
Bemerkungen zur Prüfung:
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in zwei Teilen statt. Die Kurse Mikrosystem-Anwendungen, und Lifescience-Anwendungen bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Während der Unterrichtsphase:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Photonics-Anwendungen eine Prüfung geschrieben und ein Vortrag gehalten. Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Life-Science-Anwendungen eine Prüfung geschrieben. Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Mikrosystem-Anwendungen eine Prüfung geschrieben.
Bewertungsart:
Gewichtung:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Photonics-Anwendungen eine Prüfung geschrieben (Gewicht 26.667%) und ein Vortrag gehalten (Gewicht je 6.666%). Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Life-Science-Anwendungen eine Prüfung geschrieben (Gewicht 16.667%). Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Mikrosystem-Anwendungen eine Prüfung geschrieben (Gewicht 8.333%).
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in zwei Teilen statt. Die Kurse Mikrosystem-Anwendungen (Gewicht 25%), und Lifescience-Anwendungen (Gewicht 16.667%) bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Bemerkungen:
Inhalte
Angestrebte Lernergebnisse (Abschlusskompetenzen):
Die Studierenden
- können die im Modul Mikrotechnik III gelernten Technolgien im Gebiet Photonik anwenden.
Optische Dünnschichttechnologie
Die Studierenden
- können einfache dielektrische Multilayerschichtsysteme entwickeln.
- kennen Verfahren der optischen Dünnschichttechnologie.
- kennen wichtige Bauelemente der optischen Dünnschichttechnologie.
Integrierte Optik / Faseroptik
Die Studierenden
- verstehen die Funktionsweise dielektrischer Lichtwellenleiter.
- kennen Technologien zur Herstellung optischer Fasern und Lichtwellenleiter.
- kennen die Potentiale und die Grenzen der Integrierten Optik.
Modul- und Lerninhalt:
Optische Dünnschichttechnologie
- Dünnschichtinterferenz / Fabry-Perot Filter
- Design von Antireflex- und Spiegelschichten bzw. Filterelementen
- Kantenfilter, Antireflexbeschichtungen, Hochreflektierende Spiegel
- Bandpassfilter (DWDM)
- Vor-/Nachteile physikalischer (PVD) und chemischer (CVD) Abscheideverfahren sowie Atomic Layer Deposition (ALD)
- Messung von Brechzahl und Dicke dünner optischer Schichten
Integrierte Optik / Faseroptik
- Lichtführung in dielektrischen Lichtwellenleitern
- Materialien und Verfahren zur Herstellung optischer Glasfasern
- Singlemode und Multimode Glasfasern
- Materialsysteme und Herstellprozesse integrierter Wellenleiter
- Grundfunktionen und Bauelemente der integrierten Optik
Lehr- und Lernmethoden:
Lehrmittel/-materialien:
Skriptum
empfohlene weiterführende Literatur:
- Pulker et al.: Optical Interference CoatingsSpringer Vol.88 (2003)
- Karthe/Müller: Integrierte OptikAkad. Verlag Geest&Portig (1991)