Modulbeschreibung
Mikrotechnik III
Kurzzeichen:
Unterrichtssprache:
ECTS-Credits:
Arbeitsaufwand (h):
Leitidee:
Die Studierenden
- kennen die physikalischen Zusammenhänge von Prozessabläufen.
- kennen Technologien, Prozesse und Herstellverfahren sowie deren Anwendungsgebiete in Entwicklung und Produktion
- kennen die gründsätzlichen physikalischen Prizipien von Mikrosensoren
- Kennen den Aufbau grundlegender optischer Messysteme und von Mikroskopen
Modulverantwortung:
Lehrpersonen:
Standort (angeboten):
Vorausgesetzte Module:
Modultyp:
Modulbewertung:
Leistungsnachweise und deren Gewichtung
Modulschlussprüfung:
Bemerkungen zur Prüfung:
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in vier Teilen statt. Die Kurse Technische Optik II, Oberflächen und 3D-Strukturierung, Beschichtung und Analytik sowie Funktionselemente der Mikrotechnologie bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Während der Unterrichtsphase:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Beschichtung und Analytik eine Prüfung geschrieben. Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Reinraumpraktikum ein Praktikum mittels Bericht bewertet.
Bewertungsart:
Gewichtung:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Beschichtung und Analytik eine Prüfung geschrieben (Gewicht 14.285%). Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Reinraumpraktikum ein Praktikum mittels Bericht bewertet (Gewicht 14.285%).
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in vier Teilen statt. Die Kurse Technische Optik II (Gewicht 14.286%), Oberflächen und 3D-Strukturierung (Gewicht 14.286%), Beschichtung und Analytik (Gewicht 14.286%) sowie Funktionselemente der Mikrotechnologie (Gewicht 28.572%) bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Bemerkungen:
Inhalte
Angestrebte Lernergebnisse (Abschlusskompetenzen):
Die Studierenden
Die Studierenden
- kennen den Aufbau grundlegender optischer Messysteme.
- kennen Aufbau und Wirkungsweise telezentrischer Systeme wie Fernrohr und Autokollimator.
- kennen Funktion, Einsatzweise und Anwendungen von Mikroskopen sowie ihre Grenzen.
- verstehen die Prinzipien verschiedener Oberflächenmessverfahren und kennen ihre Einsatzbereiche.
- können geeignete Messverfahren auswählen.
Modul- und Lerninhalt:
• Fernrohr
• Autokollimator
Mikroskop
• Aufbau und Wirkungsweise
• Auflösungsvermögen, förderliche Vergrösserung, Schärfentiefe
• Dunkelfeld / Hellfeld / Auflicht / Durchlicht
• Interferenzkontrast
Optische Oberflächenmessverfahren
• Konfokale Mikroskopie
• Weisslicht Interferometrie
• Interferometrie
• Digitale Holografie
• Speckle Interferometrie
• Chromatische Messverfahren