Modulbeschreibung

Prozesstechnolgie für Silicon Photonics

Kürzel:
M_VP_15720
ECTS-Punkte:
15
Lernziele:

Fachkompetenzen:

  • Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
  • Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
  • Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
  • Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
  • Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
  • Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften

Methodenkompetenzen:

  • Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik

 Sozialkompetenzen:

  • Eigenverantwortung, Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
  • Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen