Modulbeschreibung

Prozesstechnolgie für Silicon Photonics

Kurzzeichen:
M_VP_15720
ECTS-Credits:
15
Leitidee:

Fachkompetenzen:

  • Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
  • Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
  • Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
  • Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
  • Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
  • Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften

Methodenkompetenzen:

  • Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik

 Sozialkompetenzen:

  • Eigenverantwortung, Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
  • Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen
Modulverantwortung:
Michler Markus
Standort (angeboten):
Buchs
Modultyp:
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_08 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_13 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_16 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_08 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_13 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_16 (BU)(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Wahlpflicht-Modul für Technik und IT MSE_20(Keine Semesterempfehlung)Kategorie:Fachliche Vertiefung (MSE-FachV)
Modulbewertung:
Note von 1 - 6

Leistungsnachweise und deren Gewichtung

Während der Unterrichtsphase:
Im Vertiefungsprojekt „Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics)“ sowie in der Ergänzungsveranstaltung „Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtechnologie“ wird ein gemeinsamer Abschlussbericht sowie ein Fachvortrag mit integriertem Prüfungsteil bewertet.
Bewertungsart:
Note von 1 - 6
Gewichtung:
Im Vertiefungsprojekt „Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics)“ sowie in der Ergänzungsveranstaltung „Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtechnologie“ wird ein gemeinsamer Abschlussbericht (Gewicht 60%) sowie ein Fachvortrag mit integriertem Prüfungsteil (Gewicht 40%) bewertet.
Bemerkungen:

Inhalte

Angestrebte Lernergebnisse (Abschlusskompetenzen):

Fachkompetenzen:

  • Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
  • Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
  • Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
  • Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen

Methodenkompetenzen:

  • Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik

 Sozialkompetenzen:

  • Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit

Selbstkompetenzen:

  • Selbständigkeit, Umsetzungsvermögen
Modul- und Lerninhalt:

Projekt im Bereich Prozessentwicklung für das optimierte Ätzen von Wellenleitern in Silizium (Silicon Photonics)
Aufgabe: Übernahme einer Aufgabe als Teilprojektleiter. Entwicklung und Optimierung von Ätzprozessen zur Herstellung von Siliziumwellenleitern mit optimierter Seitenwandrauheit, sowie wissenschaftlicher Beitrag.
Lieferobjekte: Projekt, Bericht, Schlusspräsentation, Webseite (Projektvorstellung)