Prozesstechnolgie für Silicon Photonics
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
- Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
- Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
- Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften
Methodenkompetenzen:
- Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik
Sozialkompetenzen:
- Eigenverantwortung, Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
- Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen