Modulbeschreibung
Mikrotechnik III
Kurzzeichen:
Unterrichtssprache:
ECTS-Credits:
Arbeitsaufwand (h):
Leitidee:
Die Studierenden
- kennen die physikalischen Zusammenhänge von Prozessabläufen.
- kennen Technologien, Prozesse und Herstellverfahren sowie deren Anwendungsgebiete in Entwicklung und Produktion
- kennen die gründsätzlichen physikalischen Prizipien von Mikrosensoren
- Kennen den Aufbau grundlegender optischer Messysteme und von Mikroskopen
Modulverantwortung:
Lehrpersonen:
Standort (angeboten):
Vorausgesetzte Module:
Modultyp:
Modulbewertung:
Leistungsnachweise und deren Gewichtung
Modulschlussprüfung:
Bemerkungen zur Prüfung:
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in vier Teilen statt. Die Kurse Technische Optik II, Oberflächen und 3D-Strukturierung, Beschichtung und Analytik sowie Funktionselemente der Mikrotechnologie bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Während der Unterrichtsphase:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Beschichtung und Analytik eine Prüfung geschrieben. Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Funktionselemente der Mikrotechnologie eine Prüfung geschrieben. Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Reinraumpraktikum ein Praktikum mittels Bericht bewertet.
Bewertungsart:
Gewichtung:
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Beschichtung und Analytik eine Prüfung geschrieben (Gewicht 14.286%). Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Funktionselmenet der Mikrotechnologie eine Prüfung geschrieben (Gewicht 14.285 %). Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Reinraumpraktikum ein Praktikum mittels Bericht bewertet (Gewicht 14.285%).
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in vier Teilen statt. Die Kurse Technische Optik II (Gewicht 14.286%), Oberflächen und 3D-Strukturierung (Gewicht 14.286%), Beschichtung und Analytik (Gewicht 14.286%) sowie Funktionselemente der Mikrotechnologie (Gewicht 14.286%) bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Bemerkungen:
Inhalte
Angestrebte Lernergebnisse (Abschlusskompetenzen):
Die Studierenden
Die Studierenden
- kennen den Aufbau grundlegender optischer Messysteme.
- kennen Aufbau und Wirkungsweise telezentrischer Systeme wie Fernrohr und Autokollimator.
- kennen Funktion, Einsatzweise und Anwendungen von Mikroskopen sowie ihre Grenzen.
- verstehen die Prinzipien verschiedener Oberflächenmessverfahren und kennen ihre Einsatzbereiche.
- können geeignete Messverfahren auswählen.
Modul- und Lerninhalt:
• Fernrohr
• Autokollimator
Mikroskop
• Aufbau und Wirkungsweise
• Auflösungsvermögen, förderliche Vergrösserung, Schärfentiefe
• Dunkelfeld / Hellfeld / Auflicht / Durchlicht
• Interferenzkontrast
Optische Oberflächenmessverfahren
• Konfokale Mikroskopie
• Weisslicht Interferometrie
• Interferometrie
• Digitale Holografie
• Speckle Interferometrie
• Chromatische Messverfahren