Optische Mikrosysteme (MOEMS)
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Einbettung optischer Funktionalität in mikrotechnische Bauteile
- Physikalische Grundlagen spektraler Schmalbandfilter
- Design und Simulation mikrotechnischer Filterkomponenten
- Fertigungs- und Packagingaspekte von MOEMS
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Bauteilfertigung im Reinraum
Methodenkompetenz:
- Analyse, Kreativität, vernetztes Denken
Sozialkompetenz:
- Kooperationsfähigkeit, Arbeiten im Team
Selbstkompetenz:
- Selbständigkeit, Verantwortlichkeit