Modulbeschreibung

Optische Mikrosysteme (MOEMS)

Kürzel:
M_VP_10708
ECTS-Punkte:
15
Lernziele:

Fachkompetenzen:

  • Einbettung optischer Funktionalität in mikrotechnische Bauteile
  • Physikalische Grundlagen spektraler Schmalbandfilter
  • Design und Simulation mikrotechnischer Filterkomponenten
  • Fertigungs- und Packagingaspekte von MOEMS
  • Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
  • Bauteilfertigung im Reinraum

Methodenkompetenz:

  • Analyse, Kreativität, vernetztes Denken

Sozialkompetenz:

  • Kooperationsfähigkeit, Arbeiten im Team

Selbstkompetenz:

  • Selbständigkeit, Verantwortlichkeit