Die Studierenden
kennen die wesentlichen Verfahren der planaren Oberflächen-Strukturierung durch Lithografie und Ätzen.
kennen die einzelnen Prozessschritte der Fotolithografie, sowie die unterschiedlichen Belichtungsverfahren und Belichtungsapparaturen.
kennen die Grundregeln des Maskendesigns und können selbstständig regelkonforme Masken zeichnen.
verstehen die wichtigsten chemischen Vorgänge in der Ätztechnik und können die unterschiedlichen Ätztechniken mit ihrer Anwendbarkeit und Vor- und Nachteilen einsetzen.
kennen die grundlegenden Gerätetypen und physikalischen Vorgänge der Trockenätztechnik.
können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich Mikrostrukturierung selbstständig bearbeiten, die Prozesse im Reinraum unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.
kennen das Konzept diskreter Energieniveaus in Atomen und das Bändermodell in Festkörpern.
verstehen die prinzipielle Funktionsweise von Halbleitern, insbesondere die Leitungsmechanismen.
kennen die verschiedenen Absorptions- und Emissionsprozesse in atomaren Systemen und in Halbleitern und können diese qualitativ beschreiben.
kennen wichtige Arten von Schichten, deren Eigenschaften und können diese beschreiben.
wissen, mit welchen Verfahren und mit Hilfe welcher Anlagen diese Schichten hergestellt werden.
können für spezifische Anwendungen geeignete Schichten und Abscheideverfahren sowie die zugehörige Anlagentechnik auswählen.
können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich der Beschichtungstechnik selbstständig bearbeiten, die Prozesse im Reinraum sowie Messungen unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.
kennen die wichtigsten Materialien und biologischen Moleküle, sowie die grundlegenden Analyse- und Messverfahren in den Life Science.
kennen Lab-on-Chip Konzepte mit Mikrofluidik-Komponenten, biochemische Sensoren und Beispiele von Systemen in Medizintechnik und Diagnostik.
verstehen anhand ausgewählter Beispiele, wie Analyse- und Messsysteme mikrotechnisch umgesetzt und in den Life Science angewendet werden.
verstehen anhand ausgewählter Beispiele, wie optische/photonische, elektrochemische Messsysteme und Sensoren in den Lifescience und der Medizinaltechnik eingesetzt werden.
kennen das Konzept elektromagnetischer Wellen als Transversalwellen.
verstehen das Konzept der Polarisation, kennen die unterschiedlichen Polarisationsformen und die wichtigsten optischen Elemente zur Beeinflussung der Polarisation.
kennen das Konzept von Kohärenz und Interferenz.
können Beugungsphänomene (Fresnel- und Fraunhofer Beugung) erkennen, und beschreiben.
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in fünf Teilen statt. Die Kurse Mikrostrukturierung, Halbleiter, Beschichtung, Biosensorik und Wellenoptik bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Mikrostrukturierung ein Projekt bewertet.
Während der Unterrichtsphase wird im Kurs Mikrostrukturierung ein Projekt (Gewicht 12%) bewertet..
Am Ende des Semesters findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung in fünf Teilen statt. Die Kurse Mikrostrukturierung (Gewicht 20%), Halbleiter (Gewicht 17%), Beschichtung (Gewicht 17%), Biosensorik (Gewicht 17%) und Wellenoptik (Gewicht 17%) bilden je einen Teil der abgesetzten Modulschlussprüfung.
Die Studierenden
Lithografie
Ätztechnik
Projektarbeit
Während der Unterrichtsphase wird eine Projektarbeit bewertet. Zusätzlich findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung zusammen mit den Kursen Halbleiter, Beschichtung, Biosensorik und Wellenoptik statt.
Vorlesung, Übungen, Projektarbeit
Skript; MicroChemicals: Lithografie: Theorie und Anwendung von Fotolacken, Entwicklern, Ätzchemikalien und Lösemitteln;
Madou, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, CRC Press (2011);
Menz/Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH (2005)
Durchführung gemäss Stundenplan
Die Studierenden
Beschichtungsverfahren
Projektarbeit
Es findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung zusammen mit den Kursen Mikrostrukturierung, Halbleiter, Biosensorik und Wellenoptik statt.
Vorlesung, Übung, Praktikum, Selbststudium
Skript, Übungs- und Praktikumsunterlagen
Dünnschichttechnik:
Peter M. Martin, Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, Elsevier, 2010
Bernd Schultrich, Beschichtungsverfahren, Vakuum in Forschung und Praxis, Kapitel 1-24, 2006-2009
Durchführung gemäss Stundenplan
Die Studierenden
Elektromagnetische Wellen:
Polarisation:
Interferenz:
Beugung:
Diffraktive Optik:
Es findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung zusammen mit den Kursen Mikrostrukturierung, Halbleiter, Beschichtung und Biosensorik statt.
Vorlesung, Übungen, Demonstrationen, Selbststudium
Durchführung gemäss Stundenplan
Die Studierenden
Quantenmechanik Grundlagen
Energiezustände in Atomen, Molekülen und Festkörpern
Atom-Photon Wechselwirkung
Halbleiter
Es findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung zusammen mit den Kursen Mikrostrukturierung, Beschichtung, Biosensorik und Wellenoptik statt.
Vorlesung, Übungen
Halliday Physik: Bachelor Edition (Teil: Moderne Physik) Saleh & Teich: Grundlagen der Photonik
Durchführung gemäss Stundenplan
Die Studierenden
Grundlagen der Biochemie / Life Science
Standard Medizinaldiagnostik und klassische Tests
Moderne Mikrosysteme für die Life Science (BioMEMS)
Optische Sensoren und Messsysteme
Es findet eine abgesetzte Modulschlussprüfung zusammen mit den Kursen Halbleiter, Mikrostrukturierung, Beschichtung und Wellenoptik statt.
Vorlesung, Übung, Praktikum, Selbststudium
Durchführung gemäss Stundenplan