Modulbeschreibung

Mikrotechnik II

Kürzel:
M_MiT_II
Durchführungszeitraum:
FS/21
ECTS-Punkte:
12
Arbeitsaufwand:
360
Lernziele:

Die Studierenden

  • kennen wichtige Arten von dünnen Schichten.
  • kennen deren Eigenschaften und können diese beschreiben.
  • wissen, mit welchen Verfahren und mit Hilfe welcher Anlagen diese Schichten hergestellt werden können.
  • können für spezifische Anwendungen geeignete Schichten und Abscheideverfahren sowie die zugehörige Anlagentechnik auswählen.
  • kennen geeignete Techniken, um Halbleiter zu dotieren.
  • wissen, wie sich Oberflächen und dünne Schichten charakterisieren lassen.
  • können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich der Beschichtungstechnik selbstständig bearbeiten, die Prozesse im Reinraum sowie Messungen an Schichten unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.

 

  • verstehen die prinzipielle Funktionsweise von Halbleitern, insbesondere die Leitungsmechanismen.
  • können grundsätzliche Funktionsprinzipien von physikalischen Sensoren verstehen.
  • können MEMS-Sensoren entwerfen.

 

  • kennen die wesentlichen Verfahren der planaren Oberflächen-Strukturierung durch Lithografie und Ätzen.
  • kennen die einzelnen Prozessschritte der Fotolithografie, sowie die unterschiedlichen Belichtungsverfahren und Belichtungsapparaturen.
  • kennen die Grundregeln des Maskendesigns und können selbstständig regelkonforme Masken zeichnen.
  • verstehen die wichtigsten chemischen Vorgänge in der Ätztechnik und können die unterschiedlichen Ätztechniken mit ihrer Anwendbarkeit und Vor- und Nachteilen einsetzen.
  • kennen die grundlegenden Gerätetypen und physikalischen Vorgänge der Trockenätztechnik.
  • kennen die Opferschicht-Technologie zur Herstellung freitragender Strukturen sowie das Fotostruktur-Ätzen.
  • können eine gegebene Aufgabenstellung aus dem Bereich Mikrostrukturierung selbstständig bearbeiten, einzelne Prozesse im Reinraum unter Anleitung durchführen und die Ergebnisse dokumentieren und präsentieren.
Verantwortliche Person:
Prof. Dr. Buser Rudolf
Telefon/EMail:
+41 (0)81 7553456
/ u_2000039
Standort (angeboten):
Buchs
Fachbereiche:
Mikro- und Nanotechnologie
Vorausgesetzte Module:
Anschlussmodule:
Modultyp:
Standard-Modul für Systemtechnik BB STD_05(Empfohlenes Semester: 6)
Fach-Pflichtmodul für Mikrotechnik STD_05 (PF)
Standard-Modul für Systemtechnik VZ STD_05(Empfohlenes Semester: 4)
Fach-Pflichtmodul für Mikrotechnik STD_05 (PF)

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