Modulbeschreibung
Prozesstechnolgie für Silicon Photonics
Kürzel:
M_VP_15720
Durchführungszeitraum:
HS/15
ECTS-Punkte:
15
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
- Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
- Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
- Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften
Methodenkompetenzen:
- Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik
Sozialkompetenzen:
- Eigenverantwortung, Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
- Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen
Verantwortliche Person:
Michler Markus
Standort (angeboten):
Buchs
Modultyp:
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_08 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_16 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering BB STD_13 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_08 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_16 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für MSE Master of Science in Engineering VZ STD_13 (BU)(Keine Semesterempfehlung)
Standard-Modul für Technik und IT MSE_20(Keine Semesterempfehlung)
ECTS-Punkte pro Kategorie
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Fachliche Vertiefung / 15 Punkte
Modulbewertung
Bewertungsart:
Note von 1 - 6
Leistungsbewertung
Während des Semesters:
Im Vertiefungsprojekt „Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics)“ sowie in der Ergänzungsveranstaltung „Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtechnologie“ wird ein gemeinsamer Abschlussbericht sowie ein Fachvortrag mit integriertem Prüfungsteil bewertet.
Bewertungsart:
Note von 1 - 6
Gewichtung:
Im Vertiefungsprojekt „Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics)“ sowie in der Ergänzungsveranstaltung „Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtechnologie“ wird ein gemeinsamer Abschlussbericht (Gewicht 60%) sowie ein Fachvortrag mit integriertem Prüfungsteil (Gewicht 40%) bewertet.
Bemerkungen:
Kurse in diesem Modul
Prozessentwicklung zur Fertigung von Wellenleitern in Siliziumtechnologie (Silicon Photonics)
Kürzel:
VP_1572001
Arbeitsaufwand:
330
Semester:
1
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Prozessentwicklung zur Herstellung glatter geätzter Siliziumflächen
- Herstellung und Charakterisierung geätzter Teststrukturen
Methodenkompetenzen:
- Analyse, vernetztes Denken, Projektmanagement, Präsentationstechnik
Sozialkompetenzen:
- Teamfähigkeit, Kritikfähigkeit
Selbstkompetenzen:
- Selbständigkeit, Umsetzungsvermögen
Plan und Lerninhalt:
Projekt im Bereich Prozessentwicklung für das optimierte Ätzen von Wellenleitern in Silizium (Silicon Photonics)
Aufgabe: Übernahme einer Aufgabe als Teilprojektleiter. Entwicklung und Optimierung von Ätzprozessen zur Herstellung von Siliziumwellenleitern mit optimierter Seitenwandrauheit, sowie wissenschaftlicher Beitrag.
Lieferobjekte: Projekt, Bericht, Schlusspräsentation, Webseite (Projektvorstellung)
Kursart:
Durchführung gemäss Stundenplan
Projekt mit Lektionen pro Woche
- Max. Teilnehmer: 99
- Harte Grenze: nein
Design, Simulation und Charakterisierung integriert optischer Wellenleiterstrukturen in Siliziumtech
Kürzel:
VP_1572002
Arbeitsaufwand:
120
Semester:
1
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Konzeptentwicklung für faserangepasste Wellenleiter in Siliziumtechnologie
- Design und Simulation optischer Wellenleitergrundstrukturen
- Evaluation geeigneter Charakterisierungsverfahren zur Analyse wichtiger Wellenleitereigenschaften
Methodenkompetenzen:
- Analyse, Präsentationstechnik
Sozialkompetenzen:
- Eigenverantwortung
Selbstkompetenzen:
- Selbständigkeit, Entscheidungs- und Umsetzungsvermögen
Plan und Lerninhalt:
- Vertiefung im Bereich Konzeption und Auslegung von faserangepassten Siliziumwellenleitern
- Erlernen der Simulationssoftware zur Auslegung von Wellenleiterstrukturen
- Charakterisierungsverfahren zur Analyse von Wellenleitereigenschaften
Die Studierenden erarbeiten teils selbständig, teils unter Anleitung die Theorie aus Fachliteratur, Büchern und Manuals, und erstellen daraus die notwendigen Designrules. Sie evaluieren verschiedene Charakterisierungs-Verfahren für Wellenleitergrundstrukturen
Kursart:
Durchführung gemäss Stundenplan
Selbststudium mit Lektionen pro Woche
- Max. Teilnehmer: 99
- Harte Grenze: nein