Modulbeschreibung
Optische Mikrosysteme (MOEMS)
Kürzel:
Durchführungszeitraum:
ECTS-Punkte:
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Einbettung optischer Funktionalität in mikrotechnische Bauteile
- Physikalische Grundlagen spektraler Schmalbandfilter
- Design und Simulation mikrotechnischer Filterkomponenten
- Fertigungs- und Packagingaspekte von MOEMS
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Bauteilfertigung im Reinraum
Methodenkompetenz:
- Analyse, Kreativität, vernetztes Denken
Sozialkompetenz:
- Kooperationsfähigkeit, Arbeiten im Team
Selbstkompetenz:
- Selbständigkeit, Verantwortlichkeit
Verantwortliche Person:
Standort (angeboten):
Modultyp:
ECTS-Punkte pro Kategorie
Modulbewertung
Bewertungsart:
Leistungsbewertung
Während des Semesters:
Bewertungsart:
Gewichtung:
Bemerkungen:
Kurse in diesem Modul
Fertigungs- und Packaging-Apsekte zur Herstellung eines Free Space Etalons für Laseranwendungen
Kürzel:
Arbeitsaufwand:
Semester:
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Einbettung optischer Funktionalität in mikrotechnische Bauteile
- Fertigungs- und Packagingaspekte von MOEMS
- Aufstellen und Bewerten von Prozessketten
- Bauteilfertigung im Reinraum
Methodenkompetenz:
- Analyse, Kreativität, vernetztes Denken
Sozialkompetenz:
- Kooperationsfähigkeit, Arbeiten im Team
Selbstkompetenz:
- Selbständigkeit, Verantwortlichkeit
Plan und Lerninhalt:
Projekt im Bereich Packaging und Fertigung eines mikrotechnischen Fabry-Perot-Etalons mit Hauptaugenmerk auf den Bereich der mikrotechnischen Bauteilfertigung.
Aufgabe: Übernahme einer Teilaufgabe als Teilprojektleiter. Konzeption und Realisierung von Fertigungsprozessen, sowie wissenschaftlicher Beitrag.
Lieferobjekte: Projekt, Bericht, Schlusspräsentation, Webseite (Projektvorstellung)
Kursart:
Durchführung gemäss Stundenplan
Anforderung an ein Fabry Perot Etalon als Interacavity Filter
Kürzel:
Arbeitsaufwand:
Semester:
Lernziele:
Fachkompetenzen:
- Einbettung optischer Funktionalität in mikrotechnische Bauteile
- Physikalische Grundlagen spektraler Schmalbandfilter
- Design und Simulation mikrotechnischer Filterkomponenten
Methodenkompetenz:
- Analyse, vernetztes Denken
Selbstkompetenz:
- Selbständigkeit, Verantwortlichkeit
Plan und Lerninhalt:
Vertiefung in Aufbau und Funktion von Cavity-basierten optischen Filtern.
Funktionsweise eines Fabry Perot Filters und spezielle Anforderungen an Filter im Intracavity Einsatz in Lasern.
Der Studierende erarbeitet selbständig oder in einer Reading Group die Theorie und leitet daraus die notwendigen Packaging- und fertigungstechnischen Randbedingungen für ein reales Bauteil im Intracavityeinsatz ab.
Kursart:
Durchführung gemäss Stundenplan